国家/地区 中国(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 C30(11) C01(3) C23(3)
H01(3)
IPC小类 C30B(11)
IPC C30B025/18(5) C30B029/02(5) C01B032/186(2)
C23C016/26(2) C30B025/16(2) C30B029/40(2)
H01L021/02(2)
发明人 WANG X(11)
公开年 2018(2) 2020(2) 2022(2) 2023(2)
申请年 2022(3)  2018(2)  2021(2) 
专利权人 BEIJING GRAP.(2) UNIV PEKING(2)