国家/地区 中国(13)
IPC部 C(13)
IPC大类 C30(13) H01(13) C01(4)
C23(4)
IPC小类 C30B(13)
IPC H01L021/02(8) C30B025/18(5) C30B029/40(5)
C30B029/38(3) H01L031/18(3) H01L033/00(3)
C01B032/194(2) C01B032/198(2) C23C016/34(2)
C30B025/20(2) C30B029/02(2) C30B029/16(2)
C30B029/46(2) C30B029/64(2) H01L021/20(2)
发明人 FIMLAND B M(2) HUANG W(2) MUNSHI M(2)
WEMAN H(2) ZHANG S(2)
公开年 2021(13)
申请年 2021(8)  2020(5) 
专利权人 CRAYONANO AS(2)