国家/地区 美国(5) 欧洲专利局(EPO)(3) 中国(2) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC B82Y040/00(4) B82Y030/00(3) C01B032/182(3)
C01B032/184(3) C30B029/02(3) C30B029/64(3)
C01B032/188(2) C01B032/23(2) C30B001/02(2)
C30B033/02(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2018(4) 2017(3)
申请年 2017(7)
专利权人