国家/地区 美国(7) 中国(5) 世界知识产权组织(4) 日本(3) 韩国(2) 台湾(2)
IPC部 B(9)
IPC大类 C23(9)
IPC小类 C30B(9)
IPC B82Y040/00(7) B82Y030/00(6) C23C016/26(5)
C30B029/02(5) C01B031/02(4) C01B031/04(4)
C01B032/186(4) C30B025/18(3) H01L021/02(3)
H01L029/16(3) C01B032/194(2) C23C016/02(2)
C30B025/02(2) H01B001/04(2) H01L029/06(2)
发明人
公开年 2012(5) 2013(2) 2014(2)
申请年 2012(9)
专利权人