国家/地区 中国(6) 美国(6) 韩国(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2)
IPC部 C(11)
IPC大类 C23(11)
IPC小类 C23C(11)
IPC C23C016/26(7) C30B025/18(6) C01B031/04(5)
C30B029/02(5) C30B025/02(4) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C01B031/02(2) C23C016/01(2)
C23C016/02(2) C23C016/44(2) C23C016/46(2)
C23C028/00(2) C30B029/36(2) H01L021/02(2)
发明人 ZHANG Y(2)
公开年 2015(5) 2014(4) 2016(2)
申请年 2014(11)
专利权人