国家/地区 中国(8) 美国(6) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2) 台湾(2)
IPC部 C(13)
IPC大类 C23(13)
IPC小类 C23C(13)
IPC C23C016/26(10) C30B025/18(10) C30B029/02(7)
C23C016/02(4) C01B031/04(3) C01B032/186(3)
C23C014/06(3) C23C014/34(2) C23C016/56(2)
C23C028/00(2) C30B025/02(2) H01L021/02(2)
发明人 ZHANG X(3) ZHANG Z(2)
公开年 2016(13)
申请年 2016(6)  2015(5)  2014(2) 
专利权人 SHANGHAI INS.(2)