国家/地区 中国(45) 美国(21) 韩国(13) 世界知识产权组织(12) 日本(9) 欧洲专利局(EPO)(7) 加拿大(6) 印度(5) 澳大利亚(2) 台湾(2)
IPC部 C(69)
IPC大类 C30(69) H01(29) C01(25)
C23(15) B82(8) C04(6)
B01(5) B05(3) C09(3)
C22(3) B32(2) C07(2)
H05(2)
IPC小类 C30B(69)
IPC C30B029/02(27) C30B025/18(20) H01L021/02(13)
C01B032/186(11) C30B029/40(11) C30B025/10(7)
C30B025/16(7) C30B029/64(7) B82Y040/00(6)
C30B025/00(6) C30B029/60(6) C01B032/194(5)
C23C016/26(5) C30B025/02(5) C30B025/08(5)
发明人 LI Y(5) LI J(4) WANG Y(4)
LIU J(3) SUN L(3) YU D(3)
ZHANG S(3) BAI Y(2) CHEN J(2)
CHEN Z(2) FIMLAND B M(2) GAO Y(2)
HAO X(2) HE X(2) HUANG W(2)
公开年 2021(69)
申请年 2021(37)  2020(27)  2019(4) 
专利权人 UNIV PEKING(3) CRAYONANO AS(2) SUN H(2) UNIV HANYANG.(2)
UNIVERSAL MA.(2)