国家/地区 中国(4) 日本(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C30(9) C23(5) H01(5)
C01(3) G01(2)
IPC小类 C30B(9)
IPC C30B025/18(5) C30B029/02(4) C01B032/186(3)
C23C014/18(2) C23C014/35(2) C23C016/02(2)
C23C016/26(2) C30B029/64(2) H01B005/14(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2023(9)
申请年 2021(9)
专利权人