国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(11)![]() |
IPC部 |
C(11)![]() |
IPC大类 |
C30(11)
C01(10)
C23(6)
H01(5) B82(4) |
IPC小类 |
C30B(11)![]() |
IPC |
C01B031/04(9)
C30B029/02(7)
C23C016/26(5)
B82Y030/00(4) B82Y040/00(4) C30B025/18(4) C01B031/02(3) C01B032/186(2) C23C016/02(2) C23C016/56(2) C30B025/16(2) C30B029/64(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 | 2013(5) 2014(4) 2015(2) |
申请年 |
2013(11)![]() |
专利权人 |
KULA P, RZEPKOWSKI A, PIETRASIK R, ATRASZKIEWICZ R, DYBOWSKI K, KACZMAREK L, MODRZYK W
BORRELLI N F, FEKETY C R, LIU X, SONG Z
WODTKE A, YU H K, ALEC W, HAK KI Y, YU H, YUK H K, YUK H
KAYA I I, YANIK C, *YANIK CENK, *KAYA ISMET INONU
MEUNIER J, BERK D, VASILICA PRISTAVITA R, BINNY D, MENDOZA GONZALEZ N, PASCONE P, VASILICA P R, MENDOZA G N
LOH K P, ZHANG K, CASTRO A H, LOH K
KINLOCH I, LEWIS A, KING M, LEVIS A
GROBERT N, MURDOCK A T, KOOS A A