国家/地区 欧洲专利局(EPO)(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 C30(11) C01(10) C23(6)
H01(5) B82(4)
IPC小类 C30B(11)
IPC C01B031/04(9) C30B029/02(7) C23C016/26(5)
B82Y030/00(4) B82Y040/00(4) C30B025/18(4)
C01B031/02(3) C01B032/186(2) C23C016/02(2)
C23C016/56(2) C30B025/16(2) C30B029/64(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2013(5) 2014(4) 2015(2)
申请年 2013(11)
专利权人