国家/地区 日本(63)
IPC部 C(63)
IPC大类 C30(63) C01(56) C23(37)
H01(32) B82(20) B32(13)
B01(12) C22(4) H05(4)
B05(3) C04(3) B21(2)
C25(2) D01(2)
IPC小类 C30B(63)
IPC C30B029/02(42) C01B031/02(29) C23C016/26(24)
C01B031/04(20) B82Y040/00(19) C30B025/18(18)
C30B029/64(17) C01B032/186(16) B82Y030/00(14)
C01B032/182(14) H01L021/02(12) H01L021/20(11)
H01L021/205(11) C23C016/02(10) C01B032/194(9)
发明人 AIDA H(4) AOTA N(4) VEERASAMY V(3)
VEERASAMY V S(3) BERRY V(2) CHIBA Y(2)
CHIBA YOSHIHIRO(2) FAN F Y(2) FAN S(2)
FIMLAND B M(2) GI Y(2) HAN J(2)
HAYASHI K(2) KIM J(2) KONDO O(2)
公开年 2013(9) 2017(9) 2021(9) 2011(7) 2014(6) 2022(6) 2015(4) 2012(3) 2009(2) 2010(2) 2016(2) 2023(2)
申请年 2012(8)  2016(8)  2020(8)  2013(6)  2021(6)  2009(5)  2011(5)  2010(3)  2014(3)  2022(3)  2008(2)  2015(2)  2017(2) 
专利权人 NAMIKI SEIMI.(5) DOKURITSU GY.(3) FUJITSU LTD(3) GUARDIAN GLA.(3)
GUARDIAN IND(3) GUARDIAN IND.(3) CENT NAT REC.(2) CRAYONANO AS(2)
HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2) JX NIPPON MI.(2) LOCKHEED MAR.(2)
MAX PLANCK G.(2) MEMC ELECTRO.(2) NAT INST ADV.(2) NIPPON MININ.(2)
SHANGHAI INS.(2) SUNEDISON SE.(2) TOKYO ELECTR.(2) UNIV KANSAS .(2)