国家/地区 美国(23)
IPC部 C(23)
IPC大类 C30(23) C01(19) B82(12)
H01(10) C23(8) B01(3)
B32(3) B05(2) C03(2)
IPC小类 C30B(23)
IPC C01B031/04(18) C30B029/02(15) B82Y040/00(12)
B82Y030/00(10) C30B025/18(8) C23C016/26(5)
C01B031/02(4) C30B025/16(4) H01L021/02(4)
C30B025/02(3) C30B029/64(3) H01L029/16(3)
B32B009/00(2) C01B032/184(2) C01B032/186(2)
发明人
公开年 2014(10) 2013(9) 2015(4)
申请年 2013(23)
专利权人 EMPIRE TECHN.(2)