国家/地区 美国(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 C30(11) C01(7) C23(6)
H01(5) B01(4) B82(2)
C04(2)
IPC小类 C30B(11)
IPC C30B029/02(4) C01B032/186(3) C23C016/02(3)
C30B025/18(3) C30B029/38(3) C30B029/40(3)
H01L021/02(3) B01J003/06(2) B82Y040/00(2)
C23C016/04(2) C23C016/26(2) C23C016/34(2)
C30B025/02(2) C30B025/16(2) C30B029/04(2)
发明人 FIMLAND B M(2) MUNSHI M(2) WEMAN H(2)
公开年 2021(11)
申请年 2020(11)
专利权人 CRAYONANO AS(2)