国家/地区 美国(53)
IPC部 C(53)
IPC大类 C01(53)
IPC小类 C30B(53)
IPC C30B029/02(34) C01B031/04(31) B82Y040/00(24)
B82Y030/00(19) C01B031/02(18) H01L021/02(16)
C30B025/18(14) H01L029/16(14) C23C016/26(13)
C01B032/184(11) C01B032/186(10) H01B001/04(9)
C01B032/194(8) C30B029/64(8) C23C016/02(7)
发明人 JANG B Z(4) VEERASAMY V S(4) BERRY V(3)
MIWA T(3) MOMO J(3) NOMOTO K(3)
SEACRIST M R(3) VEERASAMY V(3) AHMED M(2)
IACOPI F(2) INOUE N(2) KELBER J(2)
YOON S(2) ZHAMU A(2) ZHANG Y(2)
公开年 2013(10) 2014(6) 2011(5) 2015(5) 2016(5) 2017(5) 2021(4) 2009(3) 2012(3) 2020(3) 2018(2)
申请年 2012(10)  2013(6)  2016(6)  2009(5)  2014(5)  2015(4)  2011(3)  2017(3)  2020(3)  2019(2)  2021(2) 
专利权人 GUARDIAN IND.(4) NANOTEK INST.(4) GLOBAL GRAPH.(3) GUARDIAN GLA.(3)
GUARDIAN IND(3) SEMICONDUCTO.(3) SUNEDISON SE.(3) UNIV KANSAS .(3)
KELBER J(2) MAX PLANCK G.(2) MEMC ELECTRO.(2) SAMSUNG TECH.(2)
UNIV GRIFFIT.(2) UNIV NORTH T.(2) UNIV SYDNEY .(2) ZHANG Y(2)