国家/地区 世界知识产权组织(12)
IPC部 C(12)
IPC大类 C01(12) C30(12) B82(8)
H01(7) C23(5) B32(2)
IPC小类 C01B(12)
IPC C01B031/04(9) B82Y040/00(8) C30B029/02(8)
B82Y030/00(7) C01B031/02(7) H01L021/02(4)
C01B032/186(3) C23C016/26(3) H01L029/16(3)
C01B032/194(2) C30B023/06(2) C30B025/02(2)
C30B025/18(2) C30B029/64(2) C30B029/68(2)
发明人 KELBER J(3)
公开年 2013(5) 2012(4) 2014(3)
申请年 2012(12)
专利权人 UNIV NORTH T.(3) KELBER J(2)