国家/地区 世界知识产权组织(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C30(9) H01(6) C01(5)
C23(4)
IPC小类 C30B(9)
IPC C30B029/02(3) C01B032/186(2) C23C016/02(2)
C23C016/26(2) C30B023/02(2) C30B029/36(2)
H01L021/02(2) H01L021/20(2) H01L021/205(2)
发明人 MITSURU M(2) NORIYUKI M(2) TAKAYASU O(2)
TAKUJI M(2)
公开年 2022(9)
申请年 2021(6)  2022(3) 
专利权人 ROHM CO LTD(2)