国家/地区 中国(27) 美国(11) 世界知识产权组织(8) 日本(5) 印度(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 G(41) H(22) C(7)
A(2) B(2)
IPC大类 G01(41) H01(21) C01(4)
A61(2) C23(2) C30(2)
G02(2)
IPC小类 G01J(41)
IPC G01J001/42(12) G01J001/02(4) G01J001/44(4)
G01J011/00(4) G01J003/02(3) G01J005/00(3)
G01J005/02(3) G01J005/20(3) H01L027/146(3)
H01L031/028(3) H01L031/10(3) H01L035/22(3)
H01L051/42(3) G01J001/04(2) G01J001/56(2)
发明人 INVENTOR U(7) DAI X(2) EGERTON E J(2)
LIU J(2) SOOD A K(2) ZHANG Y(2)
ZHOU J(2)
公开年 2021(20) 2020(16) 2022(5)
申请年 2020(41)
专利权人 ZHONGSHAN KE.(4) FUJITSU LTD(3) JINHUA FUAN .(2) MAGNOLIA OPT.(2)