国家/地区 中国(7) 美国(7) 世界知识产权组织(7) 日本(5) 韩国(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 英国(2) 印度(2)
IPC部 C(18)
IPC大类 C01(18)
IPC小类 C01B(18)
IPC C01B031/04(5) C01B032/182(5) G01J001/02(5)
B82Y030/00(4) C01B031/02(3) C01B032/184(3)
C01B032/186(3) G01J001/42(3) H01L029/786(3)
B82Y020/00(2) B82Y040/00(2) C01B032/19(2)
C01B032/194(2) G01J003/44(2) G01J005/02(2)
发明人
公开年 2021(4) 2015(3) 2018(2) 2019(2) 2020(2) 2022(2)
申请年 2020(4)  2016(3)  2021(3)  2014(2)  2018(2)  2019(2) 
专利权人