国家/地区 美国(7) 中国(5) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(2) 印度(2)
IPC部 C(10)
IPC大类 G01(10) H01(5) C01(4)
C23(4) C08(2) C09(2)
IPC小类 G01J(10)
IPC G01J005/20(5) C08K003/04(2) G01J001/42(2)
H01L027/146(2)
发明人 ZHANG Y(2)
公开年 2021(10)
申请年 2020(5)  2021(5) 
专利权人