国家/地区 中国(16)
IPC部 G(16) H(12) B(4)
IPC大类 G01(16) H01(11) B82(2)
IPC小类 G01J(16)
IPC G01J005/20(6) G01J005/00(4) H01L031/09(4)
H01L039/12(4) H01L039/24(4) H01L031/028(3)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) G01J001/42(2)
G01J001/44(2) H01L027/144(2) H01L029/16(2)
H01L031/101(2)
发明人 HU H(4) KANG X(2)
公开年 2018(16)
申请年 2018(9)  2017(7) 
专利权人 JIANGSU XINC.(4) SHANGHAI INT.(2)