国家/地区 中国(11) 美国(5) 日本(3) 台湾(2)
IPC部 H(8) B(7) C(5)
G(4)
IPC大类 H01(8) B82(5) C01(4)
B05(3) B32(3) G01(3)
C23(2)
IPC小类 H01J(6) C01B(4) B05D(3)
B32B(3) B82B(3) G01N(3)
B82Y(2) C23C(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(4) H01J009/00(4) H01J037/20(4)
B82B003/00(3) H01J037/26(3) B05D003/00(2)
B05D003/06(2) C23C016/26(2) G01N001/28(2)
发明人 ZHANG L(14)
公开年 2011(14)
申请年 2009(7)  2010(5)  2011(2) 
专利权人 HON HAI PREC.(7) UNIV TSINGHU.(6) HONGFUJIN PR.(5) CHINESE ACAD.(2)