国家/地区 韩国(33) 美国(30) 中国(7) 日本(6) 欧洲专利局(EPO)(4)
IPC部 H(32) B(25) C(18)
G(5)
IPC大类 H01(30) B82(24) C01(14)
B32(12) C23(5) B01(4)
B05(4) G01(2) G02(2)
H05(2)
IPC小类 H01L(27) B82Y(23) C01B(14)
B32B(12) H01B(10) C23C(5)
B05D(4) B01J(3) B82B(3)
G02F(2) H05B(2)
IPC B82Y030/00(17) B82Y040/00(13) C01B031/02(10)
H01L029/78(10) B82Y099/00(9) H01B001/04(9)
H01L021/336(9) H01L029/786(8) H01L029/06(7)
H01L029/16(7) B32B009/00(6) C01B031/04(6)
H01L029/10(6) C23C016/26(5) H01L021/20(5)
发明人 CHOI J(11) CHUNG H J(11) SHIN H(11)
CHOI J Y(10) SHIN H J(10) CHUNG H(9)
LEE S(9) SEO S(9) HEO J S(8)
LEE S H(8) SEO S A(8) HEO J(7)
YANG H(7) YANG H J(7) YOON S(7)
公开年 2012(38)
申请年 2011(22)  2012(10)  2010(6) 
专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD(38)