国家/地区 德国(12)
IPC部 H(8) C(5) B(3)
IPC大类 H01(8) C01(4) B82(2)
IPC小类 H01L(6) C01B(4) B82Y(2)
H01G(2)
IPC C01B031/04(4) H01L021/02(3) H01L021/768(3)
H01L029/78(3) H01L049/02(3) B82Y040/00(2)
C01B031/02(2) H01L021/324(2) H01L029/16(2)
发明人 HUANG Q(2) RUHL G(2) RUHR G(2)
公开年 2016(12)
申请年 2015(12)
专利权人 BAYERISCHE M.(2) INFINEON TEC.(2)