国家/地区 中国(6)
IPC部 H(4) C(3)
IPC大类 H01(4) C01(2) C23(2)
IPC小类 H01L(4) C01B(2) C23C(2)
IPC C23C016/26(2) H01L043/06(2) H01L043/14(2)
发明人 XIE X(7)
公开年 2016(7)
申请年 2016(4)  2015(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(7)