国家/地区 美国(7)
IPC部 H(5) B(4) C(3)
IPC大类 H01(5) B01(3) C01(3)
IPC小类 H01L(5) B01J(3) C01B(3)
IPC C01B031/04(3) H01L021/02(3) B01J019/08(2)
H01L029/16(2) H01L029/786(2)
发明人 KIM S(7)
公开年 2017(7)
申请年 2017(4)  2016(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)