国家/地区 韩国(10) 美国(7)
IPC部 H(9) B(4) C(3)
G(2)
IPC大类 H01(7) C23(3) B01(2)
C01(2) H10(2)
IPC小类 H01L(6) C23C(3) B01D(2)
C01B(2)
IPC C23C016/26(2) H01L021/02(2) H01L023/532(2)
发明人 KIM K(12)
公开年 2023(12)
申请年 2022(10)  2021(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(5) KOREA ADVANC.(2) UNIV SEOUL N.(2)