国家/地区 | 韩国(4) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(7)![]() |
IPC大类 |
C01(7)![]() |
IPC小类 |
C01B(7)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)
C01B032/186(4)
C23C016/02(3)
C30B029/02(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 |
2023(7)![]() |
申请年 |
2021(7)![]() |
专利权人 |
KITANO A, SHIMIZU T, KUBO T
LEE C, JUNG A, SHIN H, SHIN K, SHIN K W, SHIN H J, JUNG A R, LEE C S