国家/地区 韩国(4) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C016/26(5) C01B032/186(4) C23C016/02(3)
C30B029/02(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2023(7)
申请年 2021(7)
专利权人