国家/地区 中国(7)
IPC部 C(6) H(3)
IPC大类 C30(4) H01(3) C01(2)
IPC小类 C30B(4) C01B(2) H01L(2)
IPC C30B023/02(4) C01B031/04(2) C30B029/02(2)
C30B029/40(2)
发明人 WANG W(7)
公开年
申请年 2009(2) 
专利权人 CHINESE ACAD SCI PHYSICS INST(7)