国家/地区 中国(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C01(10)
IPC小类 C01B(10) C23C(10) B01J(2)
B82Y(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(10)
发明人 JOUVRAY A(2) TEO K B K(2) ZHANG X(2)
公开年 2015(6) 2014(3)
申请年 2014(10)
专利权人 AIXTRON SE(2)