国家/地区 中国(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 C01(11)
IPC小类 C01B(11) C23C(11) B82B(3)
B82Y(3) C04B(2) C30B(2)
H01L(2)
IPC C01B032/186(11)
发明人 CHEN L(2)
公开年 2015(11)
申请年 2014(6)  2015(3)  2013(2) 
专利权人 UNIV CALIFOR.(2)