国家/地区 中国(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C23(10) H01(3) B05(2)
C04(2) C09(2) C25(2)
IPC小类 C23C(10) B05D(2) C04B(2)
C09D(2) C25D(2) H01L(2)
IPC C23C014/08(10)
发明人
公开年 2022(8) 2023(2)
申请年 2022(10)
专利权人