国家/地区 中国(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C23(10) B32(2) B82(2)
C01(2) H01(2)
IPC小类 C23C(10) B32B(2) B82Y(2)
C01B(2) H01L(2)
IPC C23C014/35(10)
发明人 ZHANG J(2)
公开年 2017(6) 2018(4)
申请年 2017(10)
专利权人