国家/地区 |
中国(13)![]() |
IPC部 |
C(13)![]() |
IPC大类 |
C23(13)![]() |
IPC小类 |
C23C(13)
H01L(4)
G02F(2)
H01M(2) |
IPC |
C23C014/08(13)![]() |
发明人 | CHEN Y(2) |
公开年 |
2021(13)![]() |
申请年 | 2021(10) 2020(3) |
专利权人 |
SHI Z, ZHANG C, ZHU H, WU T, GAO B
HUANG L, LU H, MA Z, WANG C, FANG M, CAI G, GAO J, HUANG S
XIAO Y, CHEN Z, ZHOU J, TAN Y, ZHAO J, YAO L
LI M, ZHENG F, LI H, LI C