国家/地区 中国(13)
IPC部 C(13)
IPC大类 C23(13)
IPC小类 C23C(13) H01L(4) G02F(2)
H01M(2)
IPC C23C014/08(13)
发明人 CHEN Y(2)
公开年 2021(13)
申请年 2021(10)  2020(3) 
专利权人