国家/地区 中国(17)
IPC部 C(17)
IPC大类 C01(17)
IPC小类 C01B(17)
IPC C23C016/26(10) C01B032/186(6) C23C016/56(6)
H01L021/02(6) C01B032/194(5) H01M004/38(5)
B82Y030/00(4) B82Y040/00(4) C01B032/182(4)
C01B032/184(4) C23C016/02(4) C23C016/455(4)
H01M004/62(4) C01B032/05(3) C23C016/04(3)
发明人 NARKEVICIUTE I(2) VARADARAJAN B N(2)
公开年 2021(17)
申请年 2021(9)  2020(7) 
专利权人 LAM RES CORP(2) UNIV SINGAPO.(2)