国家/地区 德国(18)
IPC部 H(10) C(8) B(5)
G(5) F(2)
IPC大类 H01(7) C01(5) G01(5)
C23(3) B01(2) B81(2)
F16(2) H04(2)
IPC小类 C01B(5) C23C(3) G01N(3)
H01L(3) H01M(3) B81B(2)
B81C(2) F16J(2) H01G(2)
H04R(2)
IPC C01B031/04(3) C01B032/182(3) B81B003/00(2)
B81B007/02(2) B81C001/00(2) C01B031/02(2)
C01B032/05(2) C01B032/16(2) C01B032/18(2)
C01B032/186(2) C23C016/26(2) C23C016/455(2)
C23C016/46(2) F16J015/34(2) H01G011/38(2)
发明人 RUHL G(3) DEHE A(2) DEU A(2)
FU G(2) JOUVRAY A(2) OTSCHIK J(2)
RUAN D(2) RUHR G(2) TEO K B K(2)
THELKE J(2)
公开年 2015(12) 2016(4) 2014(2)
申请年 2014(18)
专利权人 INFINEON TEC.(4) RUHL G(3) AIXTRON SE(2) DEHE A(2)
EAGLEBURGMAN.(2) NINGBO CSR N.(2)