国家/地区 德国(20)
IPC部 C(20)
IPC大类 C23(20)
IPC小类 C23C(20) C01B(12) H01L(7)
B82Y(6) B32B(5) H01B(3)
D01F(2) H01J(2) H01M(2)
H05K(2)
IPC C23C016/26(20)
发明人 TEO K B K(4) JOUVRAY A(3) THOMAS S(3)
CONRAN B R(2) GUINEY I(2) MCALEESE C(2)
公开年 2013(4) 2021(4) 2022(3) 2016(2) 2017(2)
申请年 2020(4)  2013(3)  2016(3)  2014(2) 
专利权人 AIXTRON SE(5) INT BUSINESS.(3) PARAGRAF LTD(2)