国家/地区 欧洲专利局(EPO)(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9) C23C(9) B82Y(6)
B32B(4) H01L(4) B82B(2)
H05K(2)
IPC C23C016/26(9)
发明人
公开年 2013(5) 2012(4)
申请年 2012(9)
专利权人

SULLIVAN M M E, HILTY R D, MARTENS R I, ZHENG M, HEMOND J H B, LIU Z, SULLIVAN MALERVY M E, SULLIVAN MALERVY M, HILTY R, MARTENS R, HEMOND J, SULLIVANMALERVY M E