国家/地区 欧洲专利局(EPO)(13)
IPC部 C(13)
IPC大类 C01(13)
IPC小类 C01B(13)
IPC C01B032/186(8) C23C016/26(8) C01B032/194(7)
C01B032/182(5) C01B031/04(4) C23C016/01(4)
C23C016/56(4) B82Y030/00(3) B82Y040/00(3)
H01L029/16(3) B01J019/08(2) B32B009/00(2)
B32B009/04(2) B32B038/10(2) C01B031/02(2)
发明人 BEDWORTH P V(2) HEISE S E(2) SINTON S W(2)
SWETT J L(2)
公开年 2017(10) 2016(3)
申请年 2016(13)
专利权人 LOCKHEED MAR.(2)