国家/地区 欧洲专利局(EPO)(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C01(10)
IPC小类 C01B(10)
IPC C23C016/26(6) C01B032/182(5) C01B032/186(5)
B82Y040/00(4) C01B032/194(4) C23C016/02(4)
B82Y030/00(3) C23C016/46(3) C01B031/04(2)
C01B032/184(2) H01B001/04(2) H01B005/14(2)
H01B013/00(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2018(5) 2017(4)
申请年 2017(10)
专利权人

ACEITUNO BUENO R, MARTINEZ RUIZ J I, LUCCAS R F, LOPEZ FAGUNDEZ M F, MOMPEAN GARCIA F, GARCIA HERNANDEZ M D M, MARTIN GAGO J A, BUENO R, RUIZ J I, FAGUNDEZ M F, GARCIA F, HERNANDEZ M D M, GAGO J A