国家/地区 法国(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 B82(9) C01(9) C23(5)
C30(3) H01(3) B01(2)
B81(2) C25(2)
IPC小类 B82Y(9) C01B(9) C23C(5)
C30B(3) H01L(3) B01J(2)
B81C(2) C25B(2)
IPC B82Y040/00(8) C01B031/04(8) B82Y030/00(7)
C01B031/02(7) C23C016/26(4) B01J023/76(2)
B81C001/00(2) C01B032/184(2) C23C016/02(2)
C23C028/00(2) C30B029/36(2) H01L021/02(2)
H01L029/16(2)
发明人 BACSA R(2) OUERGHI A(2) SERP P(2)
ZENASNI A(2)
公开年 2013(9)
申请年 2011(10)
专利权人 CENT NAT REC.(7) CNRS CENT NA.(3) COMMISSARIAT.(3) ARKEMA FRANC.(2)
INST NAT POL.(2)