国家/地区 英国(26)
IPC部 H(23) C(15) G(11)
B(6)
IPC大类 H01(20) C01(12) C23(10)
G01(9) B82(4) C30(3)
H10(3) G02(2) H02(2)
IPC小类 H01L(20) C01B(12) C23C(10)
G01R(7) B82Y(4) C30B(3)
H10N(3) G02F(2) H02N(2)
IPC H01L029/16(13) C01B032/186(11) C23C016/26(9)
H01L021/02(7) C01B032/182(6) G01R033/07(6)
G01R033/00(5) H01L029/66(5) C23C016/02(4)
H01L043/14(4) B82Y030/00(3) B82Y040/00(3)
C23C016/455(3) C30B025/18(3) C30B029/02(3)
发明人 GUINEY I(17) THOMAS S(14) DIXON S(9)
GLASS H(8) WALLIS R(6) BADCOCK T J(5)
TYLER M(5) BAINES R(4) BIDDULPH P D(4)
GRIFFIN R M(4) KAINTH J(4) LEE L Y(3)
GLASS H F J(2) GRIFFITHS J(2) JAGT R(2)
公开年 2022(16) 2021(6) 2023(3)
申请年 2021(12)  2022(7)  2020(5) 
专利权人 PARAGRAF LTD(26)