国家/地区 日本(103)
IPC部 H(80) C(55) B(28)
G(24)
IPC大类 H01(78) C01(55) G01(22)
B82(21) C07(9) C08(8)
B01(6) C23(6) H10(4)
C30(3) G06(2)
IPC小类 H01L(78) C01B(55) B82Y(20)
G01J(13) C07C(8) C08G(8)
G01N(8) B01J(6) C23C(5)
C30B(3) H10K(3) G01R(2)
IPC H01L029/786(45) H01L051/05(33) H01L051/30(33)
H01L021/336(32) C01B031/02(24) H01L029/06(24)
H01L051/40(19) H01L029/16(18) C01B032/182(17)
H01L021/28(17) B82Y040/00(15) G01J001/02(13)
H01L021/02(13) B82Y030/00(12) C01B032/184(11)
发明人 SATO S(21) YAMAGUCHI J(17) HAYASHI K(14)
JIPPO H(11) HARADA N(9) KONDO D(8)
KONDO T(8) OTOMO M(7) YAMADA Y(6)
HAYASHI H(5) KONDO O(5) OFUCHI M(5)
SUDA S(5) YAMASHITA H(5) IWAI D(4)
公开年 2022(17) 2013(9) 2023(9) 2009(7) 2014(7) 2015(7) 2017(7) 2018(7) 2021(7) 2012(6) 2020(6) 2016(5) 2010(3) 2011(3) 2008(2)
申请年 2021(19)  2016(10)  2020(9)  2011(8)  2019(8)  2013(7)  2014(6)  2015(6)  2008(5)  2010(5)  2012(5)  2007(4)  2009(3)  2018(3)  2022(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(103)