国家/地区 日本(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8)
IPC C01B031/02(7) B82Y040/00(4) C30B029/02(4)
B82Y030/00(3) C23C016/26(3) C30B029/64(3)
H01L021/02(3) C01B031/04(2) C01B032/184(2)
C30B025/18(2) C30B029/68(2) H01L021/20(2)
H01L021/205(2) H01L021/314(2) H01L029/16(2)
发明人 BERRY V(2) SEACRIST M R(2)
公开年 2013(8)
申请年 2012(4)  2011(2)  2013(2) 
专利权人 MEMC ELECTRO.(2) SUNEDISON SE.(2) UNIV KANSAS .(2)