国家/地区 韩国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7) C01(3) H01(2)
IPC小类 C23C(7) C01B(3) H01L(2)
IPC C23C016/44(7)
发明人
公开年 2014(4) 2013(2)
申请年 2013(7)
专利权人 KOREA ADVANC.(2)

ZURUTUZA E A, CENTENO P A, ALONSO R B, PESQUERA R A, ALONSO RODRIGUEZ B, CENTENO PEREZ A, ZURUTUZA ELORZA A, PESQUERA RODRIGUEZ A, AMAIA Z E, ALBA C P, BEATRIZ A R, AMAIA P R