国家/地区 韩国(35)
IPC部 C(35)
IPC大类 C01(35)
IPC小类 C01B(35)
IPC C23C016/26(27) C01B031/04(25) C01B032/186(8)
H01L029/16(8) C23C016/455(7) H01L021/02(7)
C01B032/182(5) C01B032/194(5) C23C016/02(5)
B05D001/00(4) C23C014/18(4) C23C014/34(4)
C23C016/01(4) C30B025/18(4) B01J019/08(3)
发明人 LEE Y T(9) BEDWORTH P V(2) HEISE S E(2)
KIM Y(2) KIM Y K(2) MATSUMOTO T(2)
PARK S(2) SINTON S W(2) SWETT J L(2)
YONG K K(2)
公开年 2017(17) 2016(14) 2018(4)
申请年 2016(35)
专利权人 LEE Y T(9) CHARMTRON CO.(2) KOREA INST S.(2) LOCKHEED MAR.(2)
SAMSUNG ELEC.(2) TOKYO ELECTR.(2)