国家/地区 日本(7)
IPC部 H(7) C(5) B(3)
IPC大类 H01(7) C01(5) B82(3)
IPC小类 H01L(7) C01B(5) B82Y(3)
IPC C01B031/02(5) H01L021/28(5) H01L021/336(5)
H01L029/06(5) H01L029/78(4) H01L029/786(4)
B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B031/04(3)
H01L029/16(3) H01L051/05(3) H01L051/30(3)
C01B032/182(2) H01L021/02(2) H01L021/285(2)
发明人 SATO S(3) KAWABATA A(2) YAMAGUCHI J(2)
公开年 2014(6)
申请年 2013(5)  2014(2) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(7)