国家/地区 美国(15)
IPC部 C(15)
IPC大类 C23(15) C01(11) H01(8)
B82(4) B01(3) C25(2)
C30(2)
IPC小类 C23C(15) C01B(11) H01L(7)
B82Y(4) B01J(2) C25D(2)
C30B(2) H01B(2) H01J(2)
IPC C23C016/04(15)
发明人 NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3) NARKEVICIUTE I(2)
PARK J(2) VARADARAJAN B N(2)
公开年 2021(15)
申请年 2020(9)  2021(6) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(4) APPLIED MATE.(2) LAM RES CORP(2) SAMSUNG ELEC.(2)