国家/地区 |
美国(15)![]() |
IPC部 |
C(15)![]() |
IPC大类 |
C23(15)
C01(11)
H01(8)
B82(4) B01(3) C25(2) C30(2) |
IPC小类 |
C23C(15)
C01B(11)
H01L(7)
B82Y(4) B01J(2) C25D(2) C30B(2) H01B(2) H01J(2) |
IPC |
C23C016/04(15)![]() |
发明人 |
NAGEL C J(4)
BRODEUR C L(3)
NARKEVICIUTE I(2)
PARK J(2) VARADARAJAN B N(2) |
公开年 |
2021(15)![]() |
申请年 | 2020(9) 2021(6) |
专利权人 |
QUANTUM ELEM.(4)
APPLIED MATE.(2)
LAM RES CORP(2)
SAMSUNG ELEC.(2)
|
PEPIN P, ETHRIDGE K, THOMSON C, HOLBROOK B, ESRIDGE K
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I, SHARMA K
KUBO T, SEKI K, OKADA M, HATAKEYAMA K, KOGA K, SHIMIZU T, YE N, KAWAI H, KAWAI Y, GUAN H
LEE E, SHIN H, SHIN K, BYUN K, KIM C, LEE C, LEE C S, BYUN K E, SHIN K W, SHIN H J