国家/地区 |
美国(13)![]() |
IPC部 |
C(13)![]() |
IPC大类 |
C23(13)
H01(12)
C01(8)
B82(7) B32(4) B05(3) C03(3) |
IPC小类 |
C23C(13)
H01L(10)
C01B(8)
B82Y(7) B32B(4) B05D(3) B82B(3) H01B(3) C03C(2) |
IPC |
C23C016/26(13)![]() |
发明人 | BAE S K(2) |
公开年 | 2011(8) 2012(4) |
申请年 |
2010(13)![]() |
专利权人 | UNIV SUNGKYU.(3) SAMSUNG ELEC.(2) UNIV SUNGKYU.(2) |
KELBER J A, GADDAM S S, BJELKEVIG C L
CHEN K, HU M, KUO C, CHEN L, CHEN K H, HU M S, KUO C C, CHEN L C
LEE E, CHOI B, WHANG D, LEE J, CHOI B L, LEE E K, LEE J H, WHANG D M
BAE S K, CHOI J, HONG B H, KANG J, KIM H K, KIM Y J, YAN J K
BAE S, CHUNG H, HEO J, JUNG M, KANG S, SEO D, SEO S, WOO Y, BAE S K, CHUNG H J, HEO J S, JUNG M H, KANG S R, SEO S A, WOO Y S, JUNG H J, HUH J S, YEO R, HUH J, JUNG H
MCFEELY F R, YURKAS J J, OIDA S, HANNON J B
KIM S O, LEE W J, LEE D H, HAN T H, KIM J E, LEE J A, LEE K J