国家/地区 美国(15)
IPC部 B(15)
IPC大类 C23(15) B82(7) C01(7)
H01(5) B01(4) B32(3)
B05(2) C10(2)
IPC小类 C23C(15) B82Y(7) C01B(7)
B01J(4) B32B(3) B05D(2)
C10M(2) H01B(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(15)
发明人 FARQUHAR J J(3) SEAH C M(3) BERMAN D(2)
CHOI J(2) ERDEMIR A(2) SUMANT A V(2)
公开年 2018(15)
申请年 2017(8)  2018(6) 
专利权人 FOURTE INT S.(3) UCHICAGO ARG.(2)