国家/地区 |
美国(15)![]() |
IPC部 |
B(15)![]() |
IPC大类 |
C23(15)
B82(7)
C01(7)
H01(5) B01(4) B32(3) B05(2) C10(2) |
IPC小类 |
C23C(15)
B82Y(7)
C01B(7)
B01J(4) B32B(3) B05D(2) C10M(2) H01B(2) H01L(2) |
IPC |
C23C016/26(15)![]() |
发明人 |
FARQUHAR J J(3)
SEAH C M(3)
BERMAN D(2)
CHOI J(2) ERDEMIR A(2) SUMANT A V(2) |
公开年 |
2018(15)![]() |
申请年 | 2017(8) 2018(6) |
专利权人 | FOURTE INT S.(3) UCHICAGO ARG.(2) |
KATAGIRI M, SAITO T, SAKAI T, MIYAZAKI H
SUMANT A V, ERDEMIR A, CHOI J, BERMAN D
LIU P, ZHAO W, WANG J, JIANG K, FAN S