| 国家/地区 |
美国(13)
|
| IPC部 |
B(13)
|
| IPC大类 |
C23(13)
C01(11)
B82(8)
H01(8) B01(4) B05(4) B32(3) C30(3) C25(2) |
| IPC小类 |
C23C(13)
C01B(11)
B82Y(7)
B05D(4) H01L(4) B01J(3) B32B(3) C30B(3) H01G(3) B82B(2) C25D(2) |
| IPC |
C23C014/34(13)
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| 发明人 | KIM H(2) |
| 公开年 | 2016(4) 2011(3) 2021(2) |
| 申请年 | 2010(3) 2016(3) |
| 专利权人 | SAMSUNG ELEC.(2) |
NAKAJIMA A, TSUNOYAMA H, UNO M, GUNJI H, ANDO T, TSUKAMOTO K, TONA M, HIRATA N
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
ROMEROORTEGA M, WALLACE G, GONZALEZ G M, JALILI R A, GONZALEZ GONZALEZ M
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
ZARETSKI A, LIPOMI D J
KU J, KO W, KIM H, KU J Y, KO W H, KIM H W
FORTE G, FIORENZA P, PEZZULLO G
