国家/地区 美国(13)
IPC部 B(13)
IPC大类 C23(13) C01(11) B82(8)
H01(8) B01(4) B05(4)
B32(3) C30(3) C25(2)
IPC小类 C23C(13) C01B(11) B82Y(7)
B05D(4) H01L(4) B01J(3)
B32B(3) C30B(3) H01G(3)
B82B(2) C25D(2)
IPC C23C014/34(13)
发明人 KIM H(2)
公开年 2016(4) 2011(3) 2021(2)
申请年 2010(3)  2016(3) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)