| 国家/地区 |
中国(10)
|
| IPC部 |
H(7)
G(6)
C(4)
B(2) |
| IPC大类 |
G06(5)
H01(5)
C23(3)
G02(2) H05(2) |
| IPC小类 |
G06F(5)
H01L(5)
C23C(3)
G02F(2) H05K(2) |
| IPC |
G06F003/041(5)
C23C014/24(3)
H01L027/12(3)
H01L029/43(2) H01L051/52(2) H01L051/56(2) |
| 发明人 |
LIU J(5)
BAI F(4)
YANG J(4)
FENG X(2) QIU Y(2) |
| 公开年 |
2015(10)
|
| 申请年 | 2015(6) 2014(4) |
| 专利权人 |
BOE TECHNOLOGY GROUP CO LTD(10)
|
FENG X, LIU J, QIU Y, WEI X
HU M, YANG Z, ZENG T, DING X, ZHU X, XIE T
