国家/地区 中国(10)
IPC部 H(7) G(6) C(4)
B(2)
IPC大类 G06(5) H01(5) C23(3)
G02(2) H05(2)
IPC小类 G06F(5) H01L(5) C23C(3)
G02F(2) H05K(2)
IPC G06F003/041(5) C23C014/24(3) H01L027/12(3)
H01L029/43(2) H01L051/52(2) H01L051/56(2)
发明人 LIU J(5) BAI F(4) YANG J(4)
FENG X(2) QIU Y(2)
公开年 2015(10)
申请年 2015(6)  2014(4) 
专利权人 BOE TECHNOLOGY GROUP CO LTD(10)